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高纯氧气体标准物质_
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高纯氧气体标准物质

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高纯氧气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:林德电子特种气体(苏州)有限公司
定级证书量值信息:
标准值相对不确定度(%)单位CAS备注
高纯氧99.9990.001量分数(×10-2

研制单位名称:林德电子特种气体(苏州)有限公司

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《高纯氧》
标准名称GB/T 14599-2008《高纯氧》
适用范围适用于纯度≥99.995%的氧气产品,涵盖工业、医疗及实验室用高纯氧的质量控制。
核心检测方法采用气相色谱法(GC)结合热导检测器(TCD)测定杂质含量,化学分析法测定水分和总烃。
检出限与定量限杂质气体(如N₂、CO₂)检出限为0.1 ppm,定量限为0.5 ppm;水分定量限为1 ppm(露点法)。
质控样品要求质控样品需含已知浓度的典型杂质(如Ar、CH₄),稳定性需满足±5%偏差,需定期校准。
关键实验步骤1. 气路系统检漏;2. 色谱柱活化;3. 标准气体多点校准;4. 样品重复测定(n≥3)。
特别说明禁止使用含油采样设备,检测环境需避免有机溶剂污染,结果需扣除空白值。
《高纯氧气》
标准名称HG/T 3934-2007《高纯氧气》
适用范围针对电子工业、半导体制造用高纯氧(纯度≥99.999%),规定痕量杂质控制要求。
核心检测方法质谱法(MS)测定总杂质含量,激光光谱法测定H₂O和CO₂,要求仪器分辨率≤0.1 ppm。
检出限与定量限总杂质检出限为0.05 ppm,H₂O定量限为0.05 ppm(露点-76℃等效)。
质控样品要求质控气体需包含H₂、CO等超痕量组分,浓度梯度覆盖0.05-5 ppm,瓶压≥5 MPa。
关键实验步骤1. 仪器本底值归零;2. 动态稀释法配制标准气;3. 多通道数据采集(≥5次/秒)。
特别说明检测前需对气瓶内壁进行钝化处理,采样管线需使用316L不锈钢并全程加热(60℃)。

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