硅单晶扩展电阻标准物质样片_标准物质_基质类_单标_萘析商城

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Standard Silicon Resistivity Specimen for Calibration of Spreading Resistance Measurements

产品编号

GBW13710

英文名称

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CAS号

规格

套(18)

有效期

品牌

中国计量院

标准值

10-3～103【电阻率范围(Ω·cm)】/不确定度：5

数量

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硅单晶扩展电阻标准物质样片介绍：

使用注意事项：探针负荷力为10-45克，且使用时应在新抛光的表面上进行测试
特征形态：固态
定值单位：中国计量科学研究院#峨嵋半导体材料研究所# 中国原子能科学研究院#
规格：套(18)
定级证书量值信息：

	标准值	相对不确定度(%)	单位	CAS	备注
电阻率范围	10^-3～10³	5	电阻率范围(Ω·cm)

研制单位名称：中国计量科学研究院#峨嵋半导体材料研究所# 中国原子能科学研究院#

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