标准物质/8种混合标准溶液-硼钛锆铌钼铪钽钨B,Ti,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+2%氢氟酸
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标准物质/7种混合标准溶液-钨铌锆铪钽钼钛W,Nb,Zr,Hf,Ta,Mo,Ti/介质:10%硝酸+2%氢氟酸
NCS148975 | 50mL
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标准物质/7种混合标准溶液NCS141008-钛锆铌钼铪钽钨Ti,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+2%氢氟酸
GBW(E)083551 （可替代GSB04-1768-2004） | 50mL
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标准物质/6种混合标准溶液-钛锆铌铪钽钨Ti,Zr,Nb,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+5%氢氟酸
NCS181111 | 50mL
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标准物质/8种混合标准溶液-钛钒锆铌钼铪钽钨Ti,V,Zr,Nb,Mo,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+5%氢氟酸+tr.盐酸
NCS148637 | 50mL
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标准物质/9种混合标准溶液-钛锗锆铌钼锡铪钽钨Ti,Ge,Zr,Nb,Mo,Sn,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+2%氢氟酸
NCS141137 | 50ml
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标准物质/6种混合标准溶液-钛锆铌铪钽钨Ti,Zr,Nb,Hf,Ta,W-介质10%HNO3+2%HF
NCS141349 | 50mL
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标准物质/10种混合标准溶液-硅钛锆铌钼锡锑铪钽钨Si,Ti,Zr,Nb,Mo,Sn,Sb,Hf,Ta,W/介质:10%硝酸+5%氢氟酸
NCS1453190 | 50mL
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硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
适用于硅片表面硼(B)、钛(Ti)、锆(Zr)、铌(Nb)、钼(Mo)、铪(Hf)、钽(Ta)、钨(W)等金属元素的痕量检测，尤其针对含氟样品体系（如氢氟酸介质）的前处理要求。
电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）
1. 采用耐氢氟酸进样系统（如PFA雾化器、铂金接口）
2. 使用动能歧视碰撞池技术（KED）消除多原子离子干扰
3. 同位素选择：11B, 49Ti, 90Zr, 93Nb, 95Mo, 179Hf, 181Ta, 184W
注：实际值需通过空白样品11次平行测定标准偏差的3倍和10倍确定
1. 每批次须包含空白对照（10% HNO3+2% HF介质）
2. 校准曲线相关系数R2≥0.999
3. 每10个样品插入1个质控样（CRM）回收率需在85-115%
4. 连续分析时每2小时进行中间校准点验证（偏差≤±10%）
1. 样品前处理：使用PTE容器，硅片经超纯水冲洗后，用10% HNO3+2% HF混合酸室温振荡溶解30分钟
2. 仪器准备：开启氦气碰撞模式（流量4.5mL/min），等离子体功率1550W
3. 校准曲线：用10% HNO3+2% HF介质配制5点梯度标准溶液（0.1-100μg/L）
4. 进样系统：采用PFA微流雾化器（<100μL/min），石英旋流雾室，铂采样锥
5. 数据采集：每个同位素积分时间≥0.5s，3次重复测量
1. 酸体系兼容性：标准明确规定含HF介质的前处理方法，与本标准溶液介质完全匹配
2. 记忆效应防控：钨、钼测定后需用2%氨水+0.5% EDTA溶液冲洗系统5分钟
3. 干扰校正：铌需监控93Nb→92Zr+1H干扰，采用干扰方程校正
4. 容器要求：禁止使用玻璃器皿，所有接触环节需用PTFE/PFA材质
5. 安全警示：氢氟酸操作须佩戴专用防护装备，并配备葡萄糖酸钙急救凝胶
以上信息仅供参考，请以相应标准的原文为准！