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4种金属混标/硼磷硫硅/介质:氢氟酸

GNM-M041885-2013

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4种金属混标/硼磷硫硅/介质:氢氟酸介绍：

4种金属混标/硼磷硫硅/介质:氢氟酸

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相关标准解读

GB/T 33042-2016 《表面化学分析硅片表面金属元素含量的测定氢氟酸提取-电感耦合等离子体质谱法》

适用范围：

本方法适用于硅材料（如单晶硅、多晶硅、硅片等）表面金属元素（如硼、磷、硫、硅等）含量的测定。样品需通过氢氟酸（HF）提取前处理，结合电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）进行痕量分析。

关联内容：

• 介质要求：氢氟酸（浓度≥40%）作为提取液，用于溶解硅基体并释放表面金属杂质

• 元素覆盖：标准明确包含硼（B）、磷（P）、硫（S）、硅（Si）等元素的检测

• 前处理步骤：样品需在超净环境下用氢氟酸超声提取，避免二次污染

检出限：

硼（B）：0.05 ng/cm²	磷（P）：0.02 ng/cm²
硫（S）：0.1 ng/cm²	硅（Si）：0.5 ng/cm²

GB/T 20975.25-2020 《铝及铝合金化学分析方法第25部分：元素的测定电感耦合等离子体质谱法》

适用范围：

适用于铝及铝合金中硼、磷、硫、硅等痕量元素的测定，样品需经酸溶解（含氢氟酸）后采用ICP-MS分析

关键差异：

• 介质类型：氢氟酸用于溶解铝基体，但需与硝酸、盐酸混合使用

• 干扰控制：针对铝基体产生的质谱干扰（如⁴⁰Ar³⁵Cl对⁷⁵As），标准中提供了校正方法

特别说明：

• 氢氟酸具有强腐蚀性，样品处理需在聚四氟乙烯（PTFE）或PFA容器中进行

• 硼、磷、硫易受记忆效应影响，建议采用耐氢氟酸进样系统并优化冲洗程序

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