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四甲基氢氧化铵溶液

BWZ6360-2016

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75-59-2

500mL

伟业计量

25%

见证书

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研制依据	WYJLBZ-0013 化学实验室手册（1900-01-01实施） WYJLBZ-0004 《中国药典》2020年版四部（2020-05-01实施）
基质	水
形态	液态
有效期	2025-12-28
存储条件	常温密闭及避光条件下保存。使用前应恒温至（20±3）℃，并充分摇动以保证均匀。本产品打开后应一次性使用，使用中严格防止沾污。
用途	本产品可作为工作标准，用于日常分析和检测；也可用于检测方法评价和仪器校准等实验室质量控制。
包装	本标准物质采用白色塑料瓶包装,规格500mL携带或运输时应有防碎裂保护。
参考资料	中国药典

一、样品制备

本产品采用纯度经准确定值的四甲基氢氧化铵（CAS：10424-65-4）为溶质，以水为溶剂，在室温（20±3）℃洁净实验室中采用重量-容量法配制而成。

二、溯源性及定值方法

本产品的浓度标准值采用配制值，并用滴定（容量）分析法进行量值核验。通过使用满足计量学特性要求的制备、测量方法和计量器具，保证标准物质量值的溯源性。

三、特征量值及扩展不确定度

序号	组分	标准值	扩展不确定度(k=2)	基体
1	四甲基氢氧化铵	25%	/	水

四、均匀性检验及稳定性考察

参照JJF1343 国家计量技术规范（等效ISO指南35），对分装后的样品进行随机抽样，采用滴定（容量）分析法对该标准物质进行均匀性检验和长期稳定性跟踪考察。结果表明：均匀性符合F检验规则，稳定性考察良好。

五、包装、储存及使用

本标准物质采用白色塑料瓶包装,规格500mL携带或运输时应有防碎裂保护。

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四甲基氢氧化铵溶液相关标准解读

1. SJ/T 11698-2018《电子工业用高纯四甲基氢氧化铵溶液》

适用范围	适用于电子工业中集成电路、分立器件等半导体制造工艺用高纯四甲基氢氧化铵水溶液（浓度25%），包括显影液及清洗用途

关键指标要求

• 主含量：≥24.0% - 26.0%（质量分数）

• 金属杂质：Na、K、Fe、Cu等12种金属离子总和≤100ppb

• 阴离子：Cl⁻ ≤0.5ppm，SO₄²⁻ ≤1.0ppm

• 颗粒物：≤10个/mL（≥0.5μm粒径）

检测方法

• ICP-MS用于金属杂质检测（检出限0.01-0.1ppb）

• 离子色谱法测定阴离子（检出限0.05ppm）

• 激光颗粒计数器进行颗粒分析

2. HG/T 5394-2018《工业用四甲基氢氧化铵溶液》

适用范围	适用于工业级四甲基氢氧化铵水溶液（浓度范围10%-25%），用于化工合成、催化反应等非电子领域

质量要求

• 主含量：≥标称值的±1.0%

• 杂质控制：氯化物≤0.1%，硫酸盐≤0.05%

• 灼烧残渣：≤0.2%

检测方法

• 酸碱滴定法测定主含量（误差±0.5%）

• 比浊法检测硫酸盐（检出限0.005%）

• 重量法测定灼烧残渣

标准关联性说明

SJ/T 11698侧重电子级高纯度要求，HG/T 5394适用于工业级常规应用。电子级标准在杂质控制（ppb级）和颗粒物要求方面显著严于工业标准（ppm级）

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