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高纯氮气体标准物质_
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高纯氮气体标准物质

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高纯氮气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:西南化工研究设计院#
定级证书量值信息:
标准值相对不确定度(%)单位CAS备注
高纯氮99.9990.001物质的量分数(10-2)
*单位为:物质的体积分数(×10-2)

研制单位名称:西南化工研究设计院#

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国家标准:《高纯氮》
标准名称 GB/T 8979-2008《高纯氮》
适用范围 适用于纯度≥99.999%的高纯氮气体,涵盖工业、电子、科研等领域的气体质量控制。
核心检测方法 气相色谱法(GC)测定氧、氩等杂质;化学发光法或电化学法检测微量水分及总烃。
检出限与定量限 氧含量检出限≤0.1 ppm,定量限≤0.5 ppm;总烃定量限≤0.1 ppm。
质控样品要求 使用已知浓度的标准气体校准仪器,样品需在稳定压力下保存,避免吸附或污染。
关键实验步骤 1. 系统检漏;2. 仪器预热与基线校准;3. 进样分析;4. 数据重复性验证。
特别说明 高纯氮中痕量杂质的检测需在惰性环境下操作,防止空气反向扩散污染。
行业标准:HG/T 3633-2010《电子工业用气体 高纯氮》
标准名称 HG/T 3633-2010《电子工业用气体 高纯氮》
适用范围 针对电子行业用高纯氮(纯度≥99.9995%),重点管控金属离子及颗粒物含量。
核心检测方法 ICP-MS检测金属杂质;激光粒子计数器测定颗粒物数量及粒径分布。
检出限与定量限 金属杂质(如Fe、Cu)检出限≤0.01 ppb;颗粒物(≥0.1 μm)定量限≤10个/m³。
质控样品要求 需使用超洁净气瓶及管路系统,质控样品需通过空白实验验证本底干扰。
关键实验步骤 1. 气路超净处理;2. 在线过滤系统验证;3. 惰性采样接口设计。
特别说明 电子级高纯氮的检测环境需满足Class 100洁净室要求,避免环境颗粒污染。

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