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硅单晶电阻率标准物质_
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硅单晶电阻率标准物质

GBW13707 {{goodObj.price > 0 ? '¥' + goodObj.price : '咨询'}} ¥{{goodObj.sell_price || 0}} 咨询 套/4片 {{inventory}} {{goodObj.date}} 中国计量院 {{item.norm}}

硅单晶电阻率标准物质介绍:


使用注意事项:使用时用镊子取出标准物质片,放置测量样片台上
特征形态:固态
基体:硅单晶材料
主要分析方法:
定值单位:中国计量科学研究院
规格:套/4片
定级证书量值信息:
标准值 相对不确定度(%) 单位 CAS 备注
电阻率标称值 75 1.5 电阻率标称值(·cm)
径向不均匀度(%)(距边缘6mm以内) 3 1.5 径向不均匀度(%)

保存条件:
保存条件:干净通风干燥的地方保存
研制单位名称:中国计量科学研究院

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GB/T 1551-2016 硅单晶电阻率测定方法

标准名称 GB/T 1551-2016 硅单晶电阻率测定方法
适用范围 适用于硅单晶材料在室温(23±2℃)下的电阻率测量,覆盖0.001 Ω·cm至3000 Ω·cm范围,适用于直拉法(CZ)和悬浮区熔法(FZ)制备的样品。
核心检测方法 四探针法:通过线性排列的四探针施加恒定电流并测量电压差,结合几何修正因子计算电阻率。要求样品表面平整、无氧化层,厚度大于探针间距的4倍。
检出限与定量限 检出限为0.001 Ω·cm,定量限为0.01 Ω·cm,测量不确定度≤±5%(高阻区)或≤±3%(低阻区)。
质控样品要求 需使用经认证的硅单晶标准物质(如GBW 04201)校准设备,样品直径≥50 mm,厚度≥0.5 mm,表面粗糙度Ra≤0.1 μm,测试前需用无水乙醇清洁并氮气吹干。
关键实验步骤 1. 样品预处理:切割后机械抛光至镜面;
2. 探针压力校准:确保每根探针压力为1.96±0.05 N;
3. 电流选择:根据预估电阻率选择0.1 mA至10 mA测试电流;
4. 数据采集:每个点位测量3次取均值。
特别说明 高阻样品(>100 Ω·cm)需在屏蔽箱内测量以避免环境电磁干扰,测试环境湿度需控制在40%±5%。若样品存在明显各向异性,需标注晶向(如<111>或<100>)。

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