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氩中氮气体标准物质_
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氩中氮气体标准物质

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氩中氮气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:天津市泰源工业气体有限公司
定级证书量值信息:
标准值相对不确定度(%)单位CAS备注
氩中氮1002量分数(×10-6

研制单位名称:天津市泰源工业气体有限公司

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GB/T 4844.3-2023 高纯氩中痕量氮的测定 气相色谱法
适用范围适用于高纯氩中氮含量范围为0.1-50 ppm的检测,应用于电子工业、科研领域的气体质量控制。
核心检测方法采用气相色谱法(GC)结合高灵敏度热导检测器(TCD),通过分子筛色谱柱实现氮与氩的分离。
检出限与定量限检出限0.05 ppm,定量限0.1 ppm(信噪比≥10)。
质控样品要求需使用有证标准气体,浓度覆盖检测范围,每批次检测需包含空白样品及至少两个浓度水平的质控样。
关键实验步骤1. 系统气密性检查;2. 色谱柱活化(250℃下通载气2小时);3. 标准曲线建立(至少5个浓度点);4. 样品重复进样3次取平均值。
特别说明需严格控制载气纯度(氩气≥99.999%),进样系统需全惰性化处理以避免氮吸附。
GB/T 3637.2-2018 工业氩中杂质含量的测定 第2部分:氮的光谱分析法
适用范围工业级氩气中氮含量检测(1-100 ppm),适用于冶金、化工行业过程控制。
核心检测方法采用发射光谱法,通过氮特征谱线(337.1 nm)的强度进行定量分析。
检出限与定量限检出限0.5 ppm,定量限1 ppm。
质控样品要求每分析批次需包含空白样、标准样及平行样,相对偏差应≤15%。
关键实验步骤1. 光谱仪波长校准;2. 等离子体参数优化(功率1.2 kW,载气流速0.8 L/min);3. 背景扣除处理。
特别说明需注意氩基质效应,建议采用标准加入法进行定量。
HG/T 4077-2022 电子工业用气体中痕量氮的测定 脉冲放电氦离子化气相色谱法
适用范围超纯气体中氮含量检测(0.01-10 ppm),特别适用于半导体制造用高纯氩。
核心检测方法脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)结合预浓缩技术,检测灵敏度提高10倍。
检出限与定量限检出限0.005 ppm,定量限0.01 ppm。
质控样品要求需使用NIST可溯源标准气体,每季度进行仪器校准验证。
关键实验步骤1. 预浓缩管低温吸附(-196℃);2. 热脱附程序控制(升温速率30℃/s);3. 氦气净化(纯度≥99.9999%)。
特别说明需配备气体净化装置,实验室环境湿度需控制在<30% RH。

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