高纯氢气体标准物质_单标_基质类_标准物质_萘析商城

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高纯氢气体标准物质

GBW(E)062888

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萘析精选

99.999【量分数（×10-2）】/不确定度：0.001

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高纯氢气体标准物质介绍：

特征形态：气态
定值单位：哈尔滨黎明气体有限公司
定级证书量值信息：

	标准值	相对不确定度(%)	单位	CAS	备注
高纯氢	99.999	0.001	量分数（×10^-2）

研制单位名称：哈尔滨黎明气体有限公司

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GB/T 3634.2-2011 氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢

标准名称	GB/T 3634.2-2011
适用范围	规定高纯氢（99.999%）和超纯氢（99.9999%）的技术指标，适用于电子工业、精密分析等领域用氢的检测。
核心检测方法	采用气相色谱法（GC）测定氢气中杂质气体（O₂、N₂、CO、CO₂、THC），配备热导检测器（TCD）与氢火焰离子化检测器（FID）。
检出限与定量限	O₂/N₂检出限0.1 ppm，定量限0.5 ppm；THC（总烃）定量限0.1 ppm（以甲烷计）。
质控样品要求	校准用标准气体需溯源至国家一级标准物质，浓度覆盖被测组分范围，相对扩展不确定度≤3%。
关键实验步骤	1. 采样系统高温脱附处理 2. 色谱柱选择（分子筛+PLOT Q） 3. 双检测器信号同步采集 4. 多点校准曲线验证。
特别说明	需严格控制取样过程中空气渗透，建议使用不锈钢钝化管路，分析前用高纯氦气吹扫系统至本底达标。

HG/T 4963-2016 电子工业用气体中痕量杂质的测定

标准名称	HG/T 4963-2016
适用范围	针对电子级氢气中ppb级杂质（如H2O、颗粒物）的检测方法，适用于半导体制造工艺用氢的质量控制。
核心检测方法	激光光谱法测水含量（H2O≤5 ppb），光散射法测颗粒物（≥0.1μm粒子≤1个/L）。
检出限与定量限	H2O检测下限0.5 ppb，颗粒物统计阈值0.05μm。
质控样品要求	水含量标准气体需采用重量法制备，颗粒物标准物质需经NIST认证。
关键实验步骤	1. 全系统加热至120℃除水 2. 在线检测流速控制（0.5 L/min±5%）3. 数据采集时间≥30分钟。
特别说明	检测环境需维持ISO 4级洁净度，所有连接部件应使用电抛光EP级管件。

GB/T 34532-2017 气体分析采样导则

标准名称	GB/T 34532-2017
适用范围	规范高压气体（含氢）的采样方法，适用于实验室与现场检测的样品代表性控制。
核心检测方法	规定减压阀选型（出口压力≤0.3 MPa）、取样钢瓶预处理（真空烘烤温度≥150℃）等技术要求。
检出限与定量限	系统残留影响需控制使空白值低于目标物检出限的1/3。
质控样品要求	平行样偏差应＜10%，运输空白需与样品同步分析。
关键实验步骤	1. 钢瓶置换（≥3次）2. 限流取样（流速≤500 mL/min）3. 压力监测记录。
特别说明	采样容器应选用316L不锈钢材质，内表面粗糙度Ra≤0.4μm，禁用铜质部件。

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