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氩中氢气体标准物质

GBW(E)063493

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萘析精选

0.100～25.0【量分数（×10-2）】/不确定度：2

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氩中氢气体标准物质介绍：

特征形态：气态
定值单位：佛山三水德力梅塞尔气体有限公司
定级证书量值信息：

	标准值	相对扩展不确定度（%，k=2）	单位	CAS	备注
氩中氢	0.100～25.0	2	量分数（×10^-2）

研制单位名称：佛山三水德力梅塞尔气体有限公司

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本公司销售的所有产品仅供实验科研使用，不用于人体及临床诊断。

国家标准：GB/T 3634.2-2011《氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢》

标准名称	GB/T 3634.2-2011《氢气第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢》
适用范围	适用于氩气中氢气杂质的检测，规定了氢含量在纯氩中的分析方法及限值要求。
核心检测方法	气相色谱法（GC）结合热导检测器（TCD），通过色谱柱分离氢与其他气体组分。
检出限与定量限	检出限为0.1 ppm（体积分数），定量限为0.5 ppm（体积分数）。
质控样品要求	需使用已知浓度的氩中氢标准气体进行校准，标气不确定度≤5%，并定期验证系统稳定性。
关键实验步骤	1. 色谱柱活化；2. 标气校准；3. 样品进样与分析；4. 峰面积积分计算浓度。
特别说明	检测前需排除氧气、氮气等干扰组分，确保载气纯度≥99.999%，避免基线漂移。

国家标准：GB/T 34726-2017《气体分析氩中氢的测定气相色谱法》

标准名称	GB/T 34726-2017《气体分析氩中氢的测定气相色谱法》
适用范围	专门针对氩气基质中氢气含量的测定，适用于工业氩气和高纯氩气的质量控制。
核心检测方法	高灵敏度气相色谱法（GC）结合脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）。
检出限与定量限	检出限为0.05 ppm，定量限为0.2 ppm（需配置高精度检测器）。
质控样品要求	标气需经国家一级标准物质认证，浓度覆盖检测范围，平行样偏差≤3%。
关键实验步骤	1. 系统气密性检查；2. 检测器灵敏度优化；3. 标准曲线绘制；4. 样品重复测定。
特别说明	需控制进样压力以避免氢的吸附效应，推荐使用内标法校正仪器波动。

行业标准：HG/T 4686-2014《电子工业用气体中氢的测定》

标准名称	HG/T 4686-2014《电子工业用气体中氢的测定》
适用范围	针对电子级氩气中微量氢的检测，适用于半导体制造等高端领域。
核心检测方法	质谱法（MS）或激光光谱法，优先选用非破坏性检测技术。
检出限与定量限	质谱法检出限为0.01 ppm，激光光谱法可达0.005 ppm。
质控样品要求	必须使用NIST可追溯的标气，每月进行方法空白和加标回收实验。
关键实验步骤	1. 仪器本底扣除；2. 多级标气稀释；3. 数据归一化处理；4. 不确定度评估。
特别说明	检测环境需满足洁净室要求（Class 1000以下），防止空气中氢污染样品。

行业标准：《工业氩气》

标准名称	HG/T 3934-2007《工业氩气》
适用范围	规定工业氩气中氢气杂质的允许含量及通用检测方法。
核心检测方法	奥氏气体分析仪化学吸收法（适用于氢含量≥0.1%的粗测）。
检出限与定量限	检出限为0.05%（体积分数），定量限为0.1%。
质控样品要求	使用厂内标气进行日常校准，每批次样品需做平行样分析。
关键实验步骤	1. 吸收液配制；2. 体积差量法计算氢含量；3. 温度压力校正。
特别说明	该方法仅适用于氢气浓度较高的场景，不推荐用于高纯氩分析。

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