Eight inch thin film thickness（7nm~9nm）CRM of Al3O2
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Eight inch thin film thickness（4nm~6nm）CRM of Al3O2
GBW(E)130739 | 1片/盒
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Eight inch thin film thickness（2nm~4nm）CRM of Al3O2
GBW(E)130738 | 1片/盒
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八英寸晶圆级氧化铝薄膜厚度（7nm～9nm）标准物质 Eight inch thin film thickness（7nm~9nm）CRM of Al3O2
GBW(E)130740 | 1片/盒
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八英寸晶圆级氧化铝薄膜厚度（2nm～4nm）标准物质 Eight inch thin film thickness（2nm~4nm）CRM of Al3O2
GBW(E)130738 | 1片/盒
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八英寸晶圆级氧化铝薄膜厚度（4nm～6nm）标准物质 Eight inch thin film thickness（4nm~6nm）CRM of Al3O2
GBW(E)130739 | 1片/盒
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Thin Film Thickness CRM of SiO2/Si
GBW13960 | 外包装为铝箔真空袋，每包装为一片，20 mm乘以20 mm
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Thin Film Thickness CRM of Si/Si3N4
GBW13961 | 外包装为铝箔真空袋，每包装为一片，20 mm乘以20 mm
使用注意事项：使用环境尽量为超净室，否则将造成标准物质表面污染，且放置1个小时恢复到室温再使用，防止运输过程中的环境条件影响其几何特征量值；操作过程中不能用手直接触摸硅片，特别是硅片上扫描校准的区域，测量时必须佩戴手套，轻拿轻放，防止撞击。本标准物质开封后确保使用后无变形、无污染时在有效期内可重复使用。
特征形态：固态
主要分析方法：激光椭偏仪
定值单位：中国计量科学研究院#西安交通大学
规格：1片/盒
定级证书量值信息：
应用领域：仪器检定/校准用标准物质/仪器检定/校准用标准物质
保存条件：本标准物质可在洁净环境中常温下存放。
研制单位名称：中国计量科学研究院#西安交通大学
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