美国PerkinElmer(PE)货号：N8150037 产品名称：MAS耗材 Sample Introduction Kit NexION 2000S(NexION 2000半导体配置进样套件（白色）/)/Consumable_电感耦合等离子体质谱仪_分析仪器耗材_实验耗材_萘析商城

标准名称及标准号	GB/T 32465-2015《半导体材料中痕量元素的测定电感耦合等离子体质谱法》
适用范围	适用于半导体材料（如硅、砷化镓）中痕量金属杂质元素的测定，检测范围包含铝、铁、铜等27种元素。
核心检测方法	采用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS），样品经酸消解后通过雾化系统引入等离子体，通过质量分析器分离检测目标离子。
检出限与定量限	多数元素检出限为0.01-1.0 ng/L，定量限为0.03-3.0 ng/L，具体数值需根据仪器性能验证。
质控样品要求	要求使用基体匹配的标准物质，每批次至少插入3个空白样和2个加标回收样，回收率需控制在80%-120%。
关键实验步骤	样品前处理需在超净实验室完成；雾化器流速需校准至0.85-1.05 L/min；采用内标法（推荐铟、铑）校正基体效应。
特别说明	强调进样系统需定期更换雾化室密封组件，避免记忆效应；高纯氩气纯度需≥99.999%。

标准名称及标准号	GB/T 33087-2016《仪器分析用高纯水规格及试验方法》
适用范围	规范ICP-MS等精密仪器分析用超纯水的电阻率、TOC、微生物等指标要求。
核心检测方法	规定在线电阻率监测、离线TOC分析（紫外氧化法）、微生物限度检测（膜过滤法）等质量控制方法。

标准名称及标准号	GB/T 39486-2020《化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则》
适用范围	适用于各类化学试剂中杂质元素的ICP-MS检测方法建立与验证。
关键实验步骤	明确要求进行质量校正（低/中/高质量数）、检测模式选择（标准模式/Collision Cell模式）及干扰校正验证。