高纯氩气体标准物质_单标_基质类_标准物质_萘析商城

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高纯氩气体标准物质

GBW(E)062209

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99.999【量分数（×10-2）】/不确定度：0.001

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高纯氩气体标准物质介绍：

特征形态：气态
定值单位：林德电子特种气体（苏州）有限公司
定级证书量值信息：

	标准值	相对不确定度(%)	单位	CAS	备注
高纯氩	99.999	0.001	量分数（×10^-2）

*单位为：物质的体积分数×10^-6

研制单位名称：林德电子特种气体（苏州）有限公司

以上信息仅供参考，请以实物批次为准！

本公司销售的所有产品仅供实验科研使用，不用于人体及临床诊断。

国家标准：GB/T 4842-2017《高纯氩》

标准名称

GB/T 4842-2017《高纯氩》

适用范围

适用于高纯氩气体的质量检测，涵盖纯度、杂质含量（如氧、氮、水分、总碳等）的测定。

核心检测方法

气相色谱法（用于测定氧、氮等气体杂质）；露点仪法（测定水分）；化学发光法（总碳分析）。

检出限与定量限

氧和氮的检出限≤0.1 ppm；水分露点≤-76℃（对应0.1 ppm）；总碳检出限≤0.05 ppm。

质控样品要求

需使用已知浓度的标准气体进行校准，校准气体浓度需覆盖待测样品浓度范围，且稳定性误差≤±2%。

关键实验步骤

1. 样品采集需避免空气污染；
2. 仪器预热至稳定状态；
3. 进样前用高纯氩冲洗管路至少3次；
4. 平行测定3次取平均值。

特别说明

检测环境温度需控制在20±2℃，湿度≤60%；若检测结果接近标准限值，需采用更灵敏的检测方法（如质谱法）复测。

行业标准：《电子工业用气体高纯氩》

标准名称

HG/T 3934-2007《电子工业用气体高纯氩》

适用范围

针对半导体、集成电路等电子工业用高纯氩的检测，重点控制痕量金属杂质（如铁、铜、钠）和颗粒物。

核心检测方法

电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS，检测金属杂质）；激光粒子计数器（颗粒物计数）。

检出限与定量限

金属杂质检出限≤0.01 ppb；颗粒物（≥0.1 μm）≤1个/立方米。

质控样品要求

需使用NIST标准气体进行校准，颗粒物检测需在超净环境中进行，背景值需≤0.5个/立方米。

关键实验步骤

1. 样品前处理需在Class 100洁净室操作；
2. 进样系统需用高纯氩吹扫至本底值稳定；
3. 金属杂质检测需避免容器污染。

特别说明

检测报告需包含不确定度评估，金属杂质检测需注明是否扣除本底值，颗粒物数据需标注检测时的温湿度条件。

以上信息仅供参考，请以相应标准的原文为准！