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高纯氩气体标准物质_
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高纯氩气体标准物质

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高纯氩气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:河南源正特种气体有限公司
定级证书量值信息:
标准值相对不确定度(%)单位CAS备注
高纯氩99.9990.001量分数(×10-2
*单位为:物质的体积分数×10-6

研制单位名称:河南源正特种气体有限公司

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GB/T 4842-2017 高纯氩
标准名称 GB/T 4842-2017 高纯氩
适用范围 适用于纯度≥99.999%的氩气产品,涵盖电子工业、科研分析等领域。
核心检测方法 气相色谱法(GC)结合热导检测器(TCD)测定氧、氮等杂质;氦离子化检测器(HID)用于痕量水分及烃类检测。
检出限与定量限 氧、氮检出限≤0.1 ppm,定量限0.5 ppm;水分检出限≤0.05 ppm。
质控样品要求 使用经认证的含已知浓度杂质的标准气体,纯度需高于被测样品至少一个数量级。
关键实验步骤 1. 系统吹扫排除空气干扰
2. 多级进样阀切换避免交叉污染
3. 检测器基线稳定后采集数据。
特别说明 检测过程中需严格控制管路材质(推荐316L不锈钢),避免渗透和吸附导致的误差。
HG/T 4198-2011 电子工业用气体 氩
标准名称 HG/T 4198-2011 电子工业用气体 氩
适用范围 针对半导体制造、光伏产业中使用的超高纯氩气(纯度≥99.9999%)。
核心检测方法 脉冲放电氦离子化色谱法(PDHID)检测ppb级杂质;激光露点仪测定水分含量。
检出限与定量限 总杂质检出限≤50 ppb,单组分定量限≥5 ppb;水分检测灵敏度0.1 ppb。
质控样品要求 需使用NIST可溯源的标准气体,浓度覆盖待测杂质的10%-200%。
关键实验步骤 1. 全程高真空管路处理
2. 仪器预热时间≥8小时
3. 数据采集需重复3次取均值。
特别说明 实验室环境需达到Class 100洁净度,避免颗粒物污染影响检测结果。

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