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高纯氦气体标准物质_
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高纯氦气体标准物质

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高纯氦气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:河南源正特种气体有限公司
定级证书量值信息:
标准值相对不确定度(%)单位CAS备注
高纯氦99.9990.001量分数(×10-2
*单位为:物质的体积分数(×10-2)

研制单位名称:河南源正特种气体有限公司

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GB/T 4844.3-2023《高纯氦》
标准名称GB/T 4844.3-2023 高纯氦
适用范围适用于电子工业、科研领域使用的高纯氦气质量检测,纯度要求≥99.999%。
核心检测方法气相色谱法(GC)测定杂质含量,氦离子化检测器(HID)分析痕量气体。
检出限与定量限O₂、N₂检出限≤0.1 ppm,定量限≤0.5 ppm;总烃≤0.2 ppm。
质控样品要求需使用已知浓度的标准气体校准,浓度范围覆盖0.1-10 ppm,稳定性偏差≤±2%。
关键实验步骤1. 系统检漏;2. 色谱柱活化;3. 标准曲线绘制;4. 样品进样分析。
特别说明需避免采样管路污染,分析前需用高纯氦充分吹扫系统。
HG/T 5205-2017《电子工业用气体 高纯氦》
标准名称HG/T 5205-2017 电子工业用气体 高纯氦
适用范围针对半导体制造、光纤生产等电子工业领域的高纯氦(≥99.9995%)检测。
核心检测方法质谱法(MS)分析超痕量杂质,结合色谱法验证水分含量(露点≤-76℃)。
检出限与定量限H₂O检出限≤0.05 ppm,CO/CO₂≤0.01 ppm,定量限为检出限的3倍。
质控样品要求需包含空白样品和加标样品,重复性RSD≤5%。
关键实验步骤1. 质谱仪校准;2. 样品预处理(除湿、过滤);3. 多通道数据采集。
特别说明实验室环境需控制湿度≤30%,防止外部污染干扰。
GB/T 16942-2022《气体分析 校准用混合气体的制备 称量法》
标准名称GB/T 16942-2022 气体分析校准用混合气体制备称量法
适用范围支撑高纯气体检测中校准气体的制备与验证,确保量值溯源性。
核心检测方法通过精密天平称量法配制标准气体,不确定度≤0.5%。
质控样品要求需使用经认证的高纯度原料气,配气前后需验证气瓶密封性。
特别说明称量环境需恒温恒湿,避免震动干扰,数据需经三次平行实验验证。

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