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高纯氧气体标准物质_
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高纯氧气体标准物质

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高纯氧气体标准物质介绍:


特征形态:气态
定值单位:福建岩兴气体有限公司
定级证书量值信息:
标准值相对扩展不确定度(%, k=2)单位CAS备注
高纯氧99.9990.001量分数(×10-2

研制单位名称:福建岩兴气体有限公司

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《纯氧、高纯氧和超纯氧》
标准名称 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》
适用范围 适用于工业及电子行业用高纯氧气体的质量检测,纯度要求≥99.995%(体积分数)。
核心检测方法 气相色谱法(GC)测定氧纯度,化学发光法检测痕量杂质(如CO、CH₄)。
检出限与定量限 CO检出限≤0.1 ppm,定量限≤0.5 ppm;总烃杂质定量限≤0.2 ppm。
质控样品要求 使用有证标准气体校准仪器,平行样偏差≤5%,空白实验需符合痕量分析要求。
关键实验步骤 1. 气体采样需避免管路污染;
2. 色谱柱选择需匹配杂质类型;
3. 积分参数需优化以确保峰面积准确性。
特别说明 超纯氧(≥99.999%)需采用高灵敏度检测器,并严格控制实验室环境湿度。
《电子工业用高纯氧》
标准名称 HG/T 3931-2007《电子工业用高纯氧》
适用范围 针对半导体、液晶面板制造中高纯氧(≥99.9995%)的痕量杂质检测。
核心检测方法 脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)测定ppb级杂质(如N₂、H₂O)。
检出限与定量限 N₂检出限≤10 ppb,H₂O定量限≤50 ppb,颗粒物需符合ISO 14687-3要求。
质控样品要求 必须使用NIST溯源标准气体,每批次检测需包含空白及加标回收实验。
关键实验步骤 1. 气路系统需高温钝化处理;
2. 检测器基线稳定性需监控;
3. 数据采集时间≥30分钟。
特别说明 实验室需达到ISO 3级洁净度,避免颗粒物干扰检测结果。
《工业氧》
标准名称 GB/T 3863-2008《工业氧》
适用范围 适用于常规工业氧气(纯度≥99.2%)的质量控制及杂质分析。
核心检测方法 奥氏气体分析仪法测定氧含量,比色法检测水分及酸性气体。
检出限与定量限 水分检测限≤0.01 g/m³,CO₂定量限≤0.1%(体积分数)。
质控样品要求 每批次至少分析3个平行样,相对标准偏差(RSD)应≤3%。
关键实验步骤 1. 吸收液需现配现用;
2. 气体流速控制在0.5 L/min;
3. 温度补偿计算需精确。
特别说明 该方法不适用于含油脂或有机杂质的氧气样品。

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