高纯氦气体标准物质_单标_基质类_标准物质_萘析商城

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高纯氦气体标准物质

GBW(E)061034

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99.9995【物质的量分数(10-2)】/不确定度：0.0004

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高纯氦气体标准物质介绍：

特征形态：气态
定值单位：南京特种气体厂有限公司#
定级证书量值信息：

	标准值	不确定度	单位	CAS	备注
高纯氦	99.9995	0.0004	物质的量分数(10^-2)

*单位为：物质的体积分数(×10^-2)

研制单位名称：南京特种气体厂有限公司#

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本公司销售的所有产品仅供实验科研使用，不用于人体及临床诊断。

国家标准：GB/T 4844.3-2023 高纯氦气体分析方法

标准名称	GB/T 4844.3-2023 高纯氦气体分析方法
适用范围	适用于纯度≥99.999%的氦气中杂质组分（如O₂、N₂、H₂、CO、CO₂等）的检测。
核心检测方法	气相色谱法（GC）结合脉冲放电氦离子化检测器（PDHID），定量分析杂质含量。
检出限与定量限	检出限≤0.1 ppm（体积分数），定量限≤0.5 ppm。
质控样品要求	需使用经认证的混合标气，浓度覆盖待测杂质范围，且稳定性≥6个月。
关键实验步骤	1. 系统气密性检查；2. 色谱柱活化；3. 标准曲线绘制；4. 样品进样与分析；5. 数据重复性验证（至少3次平行测定）。
特别说明	需严格控制载气纯度（≥99.9999%），避免检测器基线漂移；实验室温度波动应≤±2℃。

行业标准：HG/T 3938-2022 电子工业用高纯氦气

标准名称	HG/T 3938-2022 电子工业用高纯氦气
适用范围	针对半导体、液晶面板制造中使用的氦气，重点检测痕量H₂O、颗粒物及总烃含量。
核心检测方法	质谱法（MS）检测总烃；激光粒子计数器测定颗粒物（粒径≥0.1 μm）。
检出限与定量限	总烃检出限≤0.05 ppm，颗粒物定量限≤10 counts/m³。
质控样品要求	颗粒物质控样需包含≥5种粒径的标准粒子，总烃标气浓度需覆盖0.1-10 ppm。
关键实验步骤	1. 采样管路预处理（氩气吹扫）；2. 质谱仪质量数校准；3. 颗粒物背景值扣除；4. 数据归一化处理。
特别说明	实验全程需在洁净室（ISO Class 5级）环境下进行，避免环境颗粒物污染。

以上信息仅供参考，请以相应标准的原文为准！