高纯氩气体标准物质_单标_基质类_标准物质_萘析商城

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高纯氩气体标准物质

GBW(E)061112

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萘析精选

99.999【物质的量分数(10-2)】/不确定度：0.001

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高纯氩气体标准物质介绍：

特征形态：固态
定值单位：济宁协力特种气体有限公司#
定级证书量值信息：

	标准值	相对不确定度(%)	单位	CAS	备注
高纯氩	99.999	0.001	物质的量分数(10^-2)

*单位为：物质的体积分数×10^-6

研制单位名称：济宁协力特种气体有限公司#

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本公司销售的所有产品仅供实验科研使用，不用于人体及临床诊断。

GB/T 4842-2017《纯氩》

标准名称	GB/T 4842-2017《纯氩》
适用范围	适用于深冷法分离空气制取的纯氩，用于电子工业、金属冶炼、医疗等领域。
核心检测方法	采用气相色谱法（GC）结合热导检测器（TCD）分析氩气中杂质含量（如氧、氮、总碳等）。
检出限与定量限	氧含量检出限为0.1 ppm，定量限为0.3 ppm；氮含量检出限为0.5 ppm，定量限为1 ppm。
质控样品要求	需使用标准气体进行校准，标准气体浓度需覆盖被测样品杂质范围，不确定度≤5%。
关键实验步骤	1. 色谱柱活化；2. 载气纯度验证；3. 标准曲线绘制；4. 样品重复进样（至少3次）。
特别说明	检测过程中需严格隔绝空气，避免环境氧、氮污染导致结果偏差。

GB/T 10624-2015《高纯氩》

标准名称	GB/T 10624-2015《高纯氩》
适用范围	适用于纯度≥99.999%的高纯氩，用于半导体制造、精密分析仪器载气等高端领域。
核心检测方法	使用脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）结合多级色谱柱分离技术测定痕量杂质。
检出限与定量限	总杂质检出限≤0.1 ppm，单组分（如H₂O、CO₂）定量限≤0.05 ppm。
质控样品要求	必须使用NIST可溯源的标准气体，并定期进行系统适用性测试。
关键实验步骤	1. 检测器灵敏度校准；2. 气体采样管路钝化处理；3. 杂质富集程序优化。
特别说明	需在超净实验室环境下操作，实验室湿度需控制在30%以下。

HG/T 4843-2015《电子工业用气体氩》

标准名称	HG/T 4843-2015《电子工业用气体氩》
适用范围	专用于电子级氩气的质量控制，包括晶圆制造、LED外延生长等工艺。
核心检测方法	采用飞行时间质谱（TOF-MS）检测ppb级金属离子杂质，联用傅里叶红外光谱（FTIR）分析气体组分。
检出限与定量限	金属杂质（如Fe、Ni）检出限≤0.01 ppb，H₂O定量限≤0.02 ppm。
质控样品要求	需包含至少12种特征金属杂质标样，且浓度梯度需覆盖0.01-10 ppb范围。
关键实验步骤	1. 质谱接口温度控制；2. 背景干扰扣除；3. 采样管道的电抛光处理。
特别说明	检测设备需满足SEMI标准，所有接触气体的部件必须为316L不锈钢材质。

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