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硅粒6N_
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硅粒6N

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硅粒6N介绍:

产品组成:
编号纯度
NCS15436N

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本公司销售的所有产品仅供实验科研使用,不用于人体及临床诊断。

GB/T 24582-2009 高纯硅中痕量元素的测定 辉光放电质谱法
标准名称及标准号:GB/T 24582-2009《酸溶氢化物原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属杂质》
适用于6N级高纯硅表面金属杂质定量分析
适用范围
1. 测定高纯硅(纯度≥99.9999%)表面金属杂质
2. 适用元素:Fe、Cr、Ni、Cu、Zn等16种金属
3. 适用于多晶硅、单晶硅材料质量控制
核心检测方法
1. 酸溶解样品表面
2. 氢化物发生原子吸收光谱法(HG-AAS)
3. 三步消解流程:HF-HNO₃混合酸溶解→氢化物发生→原子化检测
4. 采用标准加入法消除基体干扰
检出限与定量限
1. Fe检出限:0.03μg/m²
2. Cu定量限:0.12μg/m²
3. Ni检测范围:0.05-50μg/m²
4. 相对标准偏差(RSD)≤15%
质控样品要求
1. 使用NIST SRM 2139硅标准物质
2. 每批次插入空白样品和加标样品
3. 平行样数量≥3个
4. 加标回收率控制在85%-115%
关键实验步骤
1. 硅粒表面清洗:超纯水→HF(1%)→超纯水三级清洗
2. 密闭消解:HF(5mL)+HNO₃(2mL) 60℃水浴30min
3. 氢化物发生:加入0.1% NaBH₄溶液反应
4. AAS检测:优化载气流量,选择特征吸收波长
特别说明
1. 操作需在100级超净环境中进行
2. HF具有强腐蚀性,需使用PTFE消解罐
3. 避免使用金属镊子接触样品
4. 需监控实验室环境温湿度(23±2℃, 45±10%)
GB/T 1557-2006 硅单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法
标准名称及标准号:GB/T 1557-2006《硅单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法》
适用于6N级硅单晶氧杂质测定
适用范围
1. 测量硅单晶中间隙氧原子浓度
2. 检测范围:1×10¹⁵~2×10¹⁸ atoms/cm³
3. 适用于直拉法(CZ)和区熔法(FZ)单晶硅
核心检测方法
1. 傅里叶变换红外光谱法(FTIR)
2. 低温双光束测量模式(77K)
3. 基于1107cm⁻¹特征吸收峰计算氧含量
4. 使用Beer-Lambert定律定量
检出限与定量限
1. 最低检出限:5×10¹⁴ atoms/cm³
2. 定量下限:1×10¹⁵ atoms/cm³
3. 测量不确定度:±5% (浓度>10¹⁶ atoms/cm³)
4. 分辨率要求:≤0.5cm⁻¹
质控样品要求
1. 使用NIST SRM 2547标准参考物质
2. 每次测量前校准仪器响应
3. 样品厚度需精确测量至±0.01mm
4. 需进行背景扣除和基线校正
关键实验步骤
1. 样品制备:双面抛光,厚度2±0.1mm
2. 低温测量:液氮环境下稳定10min
3. 光谱采集:分辨率4cm⁻¹,扫描64次
4. 数据处理:扣除300-400cm⁻¹背景吸收
特别说明
1. 样品需避光保存防止表面氧化
2. 测量前需进行仪器零点校准
3. 温度波动需控制在±1K范围内
4. 需定期验证校准系数(每6个月)
GB/T 26072-2010 太阳能级硅中B、P杂质检测方法
标准名称及标准号:GB/T 26072-2010《太阳能电池用硅材料中B、P杂质含量测定方法》
适用于6N硅中关键掺杂元素检测
适用范围
1. 测定太阳能级硅中硼磷含量
2. B检测范围:0.01-1000ppb
3. P检测范围:0.05-2000ppb
4. 适用于多晶硅锭、硅片等形态样品
核心检测方法
1. 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)
2. 酸消解前处理:HNO₃+HF混合体系
3. 采用碰撞反应池技术消除干扰
4. 内标法定量(使用¹¹⁵In作为内标)
检出限与定量限
1. B检出限:0.008ppb
2. P定量限:0.02ppb
3. 线性范围:0.01-100ppb(R²≥0.999)
4. 重复性:RSD≤8%
质控样品要求
1. 使用NIST SRM 57c硅标准物质
2. 每10个样品插入1个质控样
3. 消解空白样必须同时处理
4. 内标回收率要求:95%-105%
关键实验步骤
1. 消解程序:微波消解(180℃/20min)→赶酸(120℃)
2. 定容介质:2% HNO₃溶液
3. ICP-MS参数:RF功率1550W,载气流速1.05L/min
4. 质量数选择:¹¹B和³¹P,避免⁴⁰Ar³¹P干扰
特别说明
1. 需使用高纯石英消解罐
2. 样品称量需在万级洁净台操作
3. 定期清洗雾化器和采样锥
4. 记忆效应明显,需充分冲洗进样系统

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